概述

多晶硅尾气主要成分的体积分数分别为，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。杂质.为氯化氢及氯硅烷、氯硅烷十分活泼，遇水即生成氯化氢及氧化硅，因此在分析检测时气体分析系统对水有严格要求。系统对设备材质、密封性能等也有严格要求。瑞恒公司采用变压吸附工艺，一次性去除所有杂质，确保分析效果准确性。预处理单元中利用吸附剂吸附杂质组分的能力远强于吸附氢气能力，可以将混合气体中的氢气提纯。本系统根据我国多晶硅生产线中高尘、高腐蚀的恶劣工况条件，设计的NKYF9500 型干法耐腐蚀取样分析系统，已达到国际先进水平，特别适合我国国情。

我公司开发的实用新型干法耐腐蚀取样探头，能成功地承担这一艰巨的取样任务。成套分析装置的关键部件（国内同类部件其可靠性、稳定性及使用寿命尚有差距）全部采用原装进口（例分析仪传感器、真空取样泵、PLC、阀件等），其它能够保证使用要求的由国内配套生产，此优化配置方案确保了装置的最高性能价格比，让贵方以最少的投入获得高质量、高性能的在线分析控制成套系 统。ST9500 型干法耐腐蚀取样分析系统多晶硅尾气过程气体成份分析装置分单点连续分析和多点巡回检测分析，根据用户要求进行设计，根据用户的实际情况，合理设置分析周期间隔时间，既经济又能满足生产工艺所需的安全参数。 
 
系统特点

◆免维护型耐腐取样过滤探头可在高酸、高粉尘条件下连续工作，不堵塞。
◆常压耐算取样管可在高温条件下，承受过压、耐酸等恶劣环境连续工作不损坏。
◆系统响应极快，分析准确，滞后小。
◆关键件全部采用优选进口件，系统可靠性高
◆采用专利高温取样技术
◆专业防堵技术  

取样监测点